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六氟化硫氣體具有優(yōu)良的絕緣與滅弧性能，廣泛地應(yīng)用在電子、電氣設(shè)備中，其典型的應(yīng)用是在供電部門的輸變電所、電廠等的高壓開關(guān)柜內(nèi)用作氣體絕緣。隨著六氟化硫電氣設(shè)備的迅速發(fā)展，越來越多的人接觸著六氟化硫氣體和電弧作用后的六氟化硫分解物。

六氟化硫氣體的毒性主要來自5個方面。

1、電器設(shè)備內(nèi)的六氟化硫氣體在高溫電弧發(fā)生作用時而產(chǎn)生的某些有毒產(chǎn)物。

2、六氟化硫產(chǎn)品不純，出廠時含高毒性的低氟化硫、氟化氫等有毒氣體。

3、電器設(shè)備內(nèi)的六氟化硫氣體及分解物與電極（Cu－W合金）及金屬材料（AL、Cu）反應(yīng)而生成某些有毒產(chǎn)物。

4、電器設(shè)備內(nèi)的六氟化硫氣體分解物與其內(nèi)的水分發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而生成某些有毒產(chǎn)物。

5、電器設(shè)備內(nèi)的六氟化硫氣體及分解物與絕緣材料反應(yīng)而生成某些有毒產(chǎn)物。如與含有硅成分的環(huán)氧酚醛玻璃絲布板（棒、管）等絕緣件；或以石英砂、玻璃作填料的環(huán)氧樹脂澆注件、模壓件以及瓷瓶、硅橡膠、硅脂等起化學(xué)作用，生成SiF4、Si（CH3）2F2等產(chǎn)物。